検査機・分析機器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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