真空ポンプ

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年7月
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