真空コンポーネント
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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