真空コンポーネント

  1. 乾燥機オーブン・ESPEC・PHH-101

    恒温槽（乾燥機オーブン）エスペック製（ESPEC）<br>型式：PHH-101
  2. 自家発電装置（キュービクル式）・東洋電機製造・YT-15CG

    非常用発電装置　東洋電機製造<br>型式：YT-15CG
  3. ウエハー剥離装置

    ウエハー剥離装置　SemiconductorEquipmento製<br>型番：4800 （M19…
  4. へパフィルター・日本無機・ATML-10-E23Z

    へパフィルター（クリーンユニット）日本無機製<br>型式ATML-10-E23Z
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    オートファインコーター　日本電子製（JOEL）<br>型式：JFC-1600
  6. フィリップチップボンダー

    フリップチップボンダー　東レエンジニアリング製<br>型式：FC3000 …
  7. Thickness Monitor・日本電子（JOEL）・FC-TM10

    Thickness Monitor　日本電子製（JOEL）<br>型式：FC-TM10
  8. 顕微鏡ウェハーローダー・ニコン・NWL-641(M210114A12)

    ウェハーローダー　ニコン顕微鏡<br>型式NWL-641 (M210114A12)
  9. スクリーン印刷機、ミナミ

    スクリーン印刷機　ミナミ製<br>型式：MK-MarK Ⅱ （M210326A01）
  10. EB電源

    EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製<br>型式：NEB-10W （M…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-1Q
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クールライン　型式…
  3. クリーンルーム用掃除機、日立、CV-103E。

    クリーンルーム用掃除機　日立製<br>型式：CV-103E
  4. スクロールポンプ・Edwards・XDS35i

    スクロールポンプ　エドワーズ製（Edwards）<br>型式：DS35i
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式：YP21-T07 (M21…
  6. 質量ガス分析計・インフィコン・TSPTT200（M200714A35)

    質量ガス分析計　インフィコン製<br>型式：TSPTT200 （M200714A35)
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<br>型式：UB011…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN600-2A （M201222…
  9. 電力増幅器（Power Amplifier）・横河電機・705810（M201103A01）

    電力増幅器（Power Amplifier）横河電機製<br>型式：705810 （M2011…
  10. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br>型式：JL4-5VC…

商品紹介：半導体製造装置、真空装置、ポンプ、計測器