真空コンポーネント

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年7月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
2728293031