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真空コンポーネント
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)<b…
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多関節産業ロボット(6軸)三菱電機製 型式RV-12SDC…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型…
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VUV真空キュア装置(真空紫外光硬化装置)TOSKYトス…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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SEM 走査型電子顕微鏡(3Dリアルサーフェスビュー顕…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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