真空コンポーネント

真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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