真空デシケーター

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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