真空デシケーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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