真空デシケーター

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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

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  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

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  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

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  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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