真空デシケーター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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