真空デシケーター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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