真空デシケーター

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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