真空デシケーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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