真空デシケーター

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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