真空デシケーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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