真空デシケーター

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年5月
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