真空デシケーター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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