真空デシケーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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