真空デシケーター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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