真空デシケーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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