真空デシケーター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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