真空デシケーター

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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