真空デシケーター

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年6月
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