真空デシケーター
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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