真空デシケーター

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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