真空デシケーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728