真空デシケーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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