真空デシケーター

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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