真空デシケーター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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