真空デシケーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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