真空デシケーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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