真空デシケーター

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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