真空デシケーター

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年6月
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