真空デシケーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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