真空デシケーター

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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