真空デシケーター

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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