真空デシケーター

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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