真空デシケーター
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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