真空デシケーター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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