UV照射器

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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