超音波加工機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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