超音波加工機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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