超音波加工機

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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