超音波融着機
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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