超音波融着機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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