超音波融着機

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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