超音波融着機

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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