超音波融着機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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