超音波融着機

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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