超音波融着機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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