超音波融着機

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  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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