スパッタ装置
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701
メーカー：サンユー電子 型式：SC-701ATチャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製)カソード：φ2 インチ/2 極対向電極在庫…
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
メーカー：真空デバイス 型式：MSP-1S試料室：内径120mmｘ高65mm（硬質ガラス）試料台：直径50mm（フローティング方式）電極…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M221221A04]…
メーカー：日立 型式：E-10202 極対向電極とターゲットの両用をそれぞれ独立したチャンバーで製膜が可能。スパッタリング装…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]…
メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
