RO装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年9月
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