RO装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年10月
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