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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 (M200917A01)
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チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)<br>型式:CA-111…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:VHX-100F (M2101…
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スピンコーター アクティブ製<br>型式:ACT-400AS (M201105A02)
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防振台 明立精機製<br>型式:ADZ-0608/UP (M201204A06)
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真空オーブン(真空乾燥機) ヤマト科学製<br>型式:DP63 (M21022…
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ターボ分子ポンプ ファイファー製(PFEIFFER)<br>型式:TMU261
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)<br>型式:DIS-251
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CO2インキュベーター サーモフィッシャー製<br>型式:370 (M19032…
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原子間力顕微鏡(AFM)Digital Instruments製<br>型式:Dimension83…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)