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パーティクルカウンター リオン製<br>型式;KS-93 (M200702A02)
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粗さ測定器(表面粗さ測定)東京精密製<br>型式:SURFCOM1400D (M20…
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真空オーブン(真空乾燥機) ヤマト科学製<br>型式:DP63 (M21022…
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オプティカルマルチメーター ANDO製(安藤)<br>型式:AQ2140 (M2…
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FIB装置(集束イオンビーム装置)SII製<br>型式:SMI9200IW (M2001…
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走査型電子顕微鏡(SEM)島津製<br>型式:SS-550 (M210409A01)
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防振台・ヘルツ工業・HRAS-1510LA<br>(M210108A14)
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膜厚測定装置 SPM(走査型プローブ顕微鏡)<br>SII製 型式:SPA-5…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)<br>型式:DIS-251
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ターボ分子ポンプ セイコー精機製<br>型式:STP-251S (M200410A02…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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クリーンルーム用掃除機 日立製<br>型式:CV-103E
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スクロールポンプ エドワーズ製(Edwards)<br>型式:DS35i
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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電力増幅器(Power Amplifier)横河電機製<br>型式:705810 (M2011…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…