PDV装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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