PDV装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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