ミストコレクター

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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