ミストコレクター

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  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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