ミストコレクター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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