ミストコレクター

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年1月
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