ミストコレクター

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  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

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  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年1月
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