株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG