ミストコレクター

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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