ミストコレクター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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