株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
プラズマクリーナー サムコ PC-300
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…