ミストコレクター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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