ミストコレクター

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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