株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…