ミストコレクター

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年12月
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