ミストコレクター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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