ミストコレクター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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