株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050