ミストコレクター

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  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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