株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400