ミストコレクター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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