ミストコレクター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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