ミストコレクター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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