ミストコレクター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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