ミストコレクター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年12月
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