ミストコレクター
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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