ミストコレクター

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  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

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  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

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  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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