ミストコレクター

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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