ミストコレクター

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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