ミストコレクター

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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