ミストコレクター

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  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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