ミストコレクター

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年6月
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