株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
プラズマクリーナー サムコ PC-300
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…