ミストコレクター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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