株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T