ミストコレクター

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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