ミストコレクター

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年7月
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