株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…