ミストコレクター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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