ミストコレクター

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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