ミストコレクター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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