ミストコレクター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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