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  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

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  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
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