ミストコレクター

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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