株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251