ミストコレクター

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. RF電源　RFPP　RF10S
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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