ミストコレクター

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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