ミストコレクター

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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