ミストコレクター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年9月
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