ミストコレクター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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