ミストコレクター
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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