FTIR

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年6月
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