FTIR

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
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