凍結乾燥装置

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  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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