凍結乾燥装置

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 恒温恒湿槽

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  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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