凍結乾燥装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年12月
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