凍結乾燥装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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