凍結乾燥装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
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