凍結乾燥装置

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    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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