凍結乾燥装置

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  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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