凍結乾燥装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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