凍結乾燥装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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