凍結乾燥装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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