凍結乾燥装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

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  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年1月
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