凍結乾燥装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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