凍結乾燥装置

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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