凍結乾燥装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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