凍結乾燥装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年1月
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