凍結乾燥装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年9月
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