凍結乾燥装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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