凍結乾燥装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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