凍結乾燥装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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