凍結乾燥装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年6月
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