凍結乾燥装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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