凍結乾燥装置
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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