凍結乾燥装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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