凍結乾燥装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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