凍結乾燥装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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