凍結乾燥装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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