凍結乾燥装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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