凍結乾燥装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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