凍結乾燥装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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