露光装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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