露光装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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