露光装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年10月
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