エリプソメーター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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