エリプソメーター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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