エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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