エリプソメーター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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