エリプソメーター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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