エリプソメーター

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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