エリプソメーター

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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