エリプソメーター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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