エリプソメーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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