エリプソメーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年11月
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