エリプソメーター

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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