エリプソメーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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