エリプソメーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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