エリプソメーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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