エリプソメーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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