エリプソメーター

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  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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