エリプソメーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年9月
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