エリプソメーター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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