エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年6月
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