エリプソメーター
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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