エリプソメーター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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