エリプソメーター

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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