エリプソメーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年1月
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