エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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