エリプソメーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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