エリプソメーター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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