エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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