エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  2. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  3. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  6. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  7. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  10. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  7. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  9. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

2026年3月
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