エリプソメーター

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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