エリプソメーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年11月
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