エリプソメーター
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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