エリプソメーター

  1. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  3. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  5. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  7. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  8. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  9. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  10. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  1. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  6. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  8. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  9. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

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