エリプソメーター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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