エリプソメーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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