エリプソメーター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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