エリプソメーター

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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