エリプソメーター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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