エリプソメーター

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年11月
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