エリプソメーター

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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