エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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