エリプソメーター

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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