エリプソメーター

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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