エリプソメーター

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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