エリプソメーター

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  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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