エリプソメーター

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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