エリプソメーター

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年2月
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