エリプソメーター

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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