エリプソメーター

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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