エリプソメーター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年11月
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