エリプソメーター

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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