エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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