エリプソメーター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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