エリプソメーター

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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