エリプソメーター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930