エリプソメーター

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年11月
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