エリプソメーター

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  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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