エリプソメーター

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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