エリプソメーター

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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