エリプソメーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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