エリプソメーター

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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