エリプソメーター

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年1月
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