エリプソメーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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