エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年9月
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