エリプソメーター

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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