エリプソメーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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