エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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