エリプソメーター

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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