エリプソメーター

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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