エリプソメーター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年5月
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