エリプソメーター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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