エリプソメーター

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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