エリプソメーター

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  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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