エリプソメーター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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