エリプソメーター

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年11月
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