エリプソメーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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