エリプソメーター

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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