エリプソメーター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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