エリプソメーター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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