エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
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