エリプソメーター

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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