エリプソメーター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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