エリプソメーター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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