エリプソメーター

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728