エリプソメーター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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