エリプソメーター

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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