エリプソメーター

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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