エリプソメーター

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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