エリプソメーター

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年11月
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