エリプソメーター

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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