エリプソメーター

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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