エリプソメーター

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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