エリプソメーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年12月
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