エリプソメーター

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年11月
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