エリプソメーター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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