エリプソメーター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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