エリプソメーター

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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