エリプソメーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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