エリプソメーター

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  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  2. 恒温恒湿槽

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  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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