エリプソメーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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