エリプソメーター

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年6月
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