エリプソメーター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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