エリプソメーター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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