エリプソメーター

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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