エリプソメーター

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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