エリプソメーター

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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