エリプソメーター

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年6月
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