電子天秤（計量器）

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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