集塵機

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
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