集塵機

  1. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  4. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  1. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年7月
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