集塵機

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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