冷熱衝撃試験機

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年6月
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