ブロワー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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