ブロワー

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年6月
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