ブロワー

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  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

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  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

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  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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