ブロワー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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