ブロワー

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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