ブロワー

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  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年7月
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