ブロワー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年2月
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