ブロワー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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