ブロワー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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