ブロワー

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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