ブロワー

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年2月
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