ブロワー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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