ブロワー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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