ブロワー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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