ブロワー

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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