ブロワー
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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デジタル内視鏡(ハンドヘルド産業用ボアスコープ)<…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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