ブロワー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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