ブロワー

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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