ブロワー

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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