ブロワー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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