ブロワー

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
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