ブロワー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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