ブロワー

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  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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