株式会社未来産業技術研究所
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インバーターベーンレスポンプ オイルフリーブロワーメーカー:オリオン機械型式:KCE190A-01モーター出力:5.5kW流量:3.2 …
メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250