ブロワー

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  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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