ブロワー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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