ブロワー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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