ブロワー

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  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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