超低温フリーザー

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  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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