超低温フリーザー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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