超低温フリーザー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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