超低温フリーザー
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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