超低温フリーザー

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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