粒度分布計

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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