粒度分布計

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年2月
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