粒子径分布測定装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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