空冷チラー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年7月
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