空冷チラー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年6月
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