真空排気装置

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
2026年7月
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