真空排気装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年10月
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