真空排気装置

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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