熱処理装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年6月
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