熱処理装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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