熱処理装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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