熱処理装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031