熱処理装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年12月
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