分割分包機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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