分割分包機
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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