レーザースキャンシステム

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2025年3月
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