レーザースキャンシステム

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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