レーザースキャンシステム

  1. 自動粉体抵抗測定システム　日東精工　MCP-PD600（PD…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年10月
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