ラビング装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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