ピラニーゲージ

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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