ピラニーゲージ

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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