ピラニーゲージ
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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