ヒュームフード

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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