ノイズ試験器

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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