エアーシャワー
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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スピンドライヤー コクサン製(国産遠心機) H-840…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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