ウェーブフォームモニター

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
2024年10月
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