アライメント装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年8月
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