アライメント装置

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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