アライナー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年8月
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