アライナー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年6月
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