遠心エバポレーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年10月
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