遠心エバポレーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年10月
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