薄膜

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  6. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2024年10月
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