薄膜

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  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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