薄膜

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年9月
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