真空排気装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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