温調機

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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