株式会社未来産業技術研究所
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圧縮空気温度調節装置(ナノサーモ)メーカー:オリオン機械 型式:ACU600-MD出口温度設定範囲:16℃~30℃出口空気流量:130…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
恒温槽 エスペック PH-402
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…