株式会社未来産業技術研究所
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周波数変換器(TURBOVAC MAG/ターボ分子ポンプ用)・Leybold Vacuum・(型式)MAG.DRIVE S
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25