株式会社未来産業技術研究所
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周波数変換器(TURBOVAC MAG/ターボ分子ポンプ用)・Leybold Vacuum・(型式)MAG.DRIVE S
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…