周波数カウンタ
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ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
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