レーザー変位計

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年9月
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