マグネトロンゲージ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年9月
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