フィルムマウンター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年6月
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